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事業紹介

取扱いガス／プリカーサー一覧

A

  • Ar［アルゴン］
  • AsH3［アルシン］
  • Ar/Xe/Ne［混合ガス］

B

  • BCl3［三塩化ホウ素］
  • BF3［三フッ化ホウ素］
  • B2H6［ジボラン］

C

  • CCl4［四塩化炭素］
  • CF4［四フッ化メタン］
  • C2F6［六フッ化エタン］
  • C4F6［ヘキサフルオロ1,3ブタジエン］
  • C4F8［パーフルオロシクロブタン］
  • CH4［メタン］
  • C2H2［アセチレン］
  • C3H6［プロピレン］
  • C3H8［プロパン］
  • CHF3［トリフルオロメタン］
  • CH3F［フルオロメタン］
  • C2HF5［ペンタフルオロエタン］
  • CH3OH［メタノール］
  • Cl2［塩素］
  • CO［一酸化炭素］
  • CO2［二酸化炭素］

F

  • F2/Kr/Ne［混合ガス］
  • F2/Ar/Xe/Ne［混合ガス］

G

  • GeH4［ゲルマン］

H

  • H2［水素］
  • H2/Ne［混合ガス］
  • HBr［臭化水素］
  • HCl［塩化水素］
  • HCl/H2/Ne［混合ガス］
  • He［ヘリウム］
  • H2S［硫化水素］
  • H2Se［セレン化水素］

K

  • Kr［レアガス／クリプトン］
  • Kr/Ne［レア混合ガス］

N

  • N2［窒素］
  • Ne［レアガス／ネオン］
  • NF3［三フッ化窒素］
  • NH3［アンモニア］
  • NO［一酸化窒素］
  • N2O［亜酸化窒素］

O

  • O2［酸素］

P

  • PH3［ホスフィン］

S

  • SF6［六フッ化硫黄］
  • SiCl4［四塩化ケイ素］
  • SiF4［四フッ化ケイ素］
  • SiH4［モノシラン］
  • SiHCl3［トリクロロシラン］
  • SiH2Cl2［ジクロロシラン］
  • Si2H6［ジシラン］

T

  • TEOS［テトラエトキシシラン］
  • TiCl4［四塩化チタン］
  • TrisDMAS［トリジメチルアミノシラン］

W

  • WF6［六フッ化タングステン］

X

  • Xe［レアガス／キセノン］
  • Xe/Kr/Ne［レア混合ガス］
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