事業紹介

Electronics エレクトロニクス関連事業

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特殊ガス供給装置製造

半導体や液晶関連の製造では、成膜、露光、エッチング、イオン注入/不純物熱拡散といった各工程において様々な特殊ガスが使用されています。特殊ガスは、可燃性、毒性、腐食性といった危険性が高いものが多いため、ガスの純度を損なうことなく安定に且つ安全に供給するための供給装置を開発製造しています。
完全フルオートの特殊ガス供給装置の開発製造はもとより、低蒸気圧ガス用のヒーターシステム搭載の供給装置、大型容器からの大流量供給を可能にした供給装置、複数の製造装置へ特殊ガスを効率よく供給するガス分配設備、製造装置から排出されるガスを無害化する除害装置等も製造しております。

対象企業
  • ジャパンマテリアル㈱
    特殊ガス供給装置

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供給配管設計施工

半導体及び液晶関連工場等において特殊ガスを使用するためには、特殊ガス供給装置から製造装置までを繋ぐ配管が必要となります。特殊ガスの性質上、配管施工については特殊な加工機器や検査機器を用いた高度な施工技術が必要とされ、配管材については、耐腐食性・パーティクルレス・水分レス等を考慮した選定が重要となります。JMグループは、配管設計施工技術や配管材等の品質評価技術を有しており、その技術をベースとした設計施工を行っています。
また、特殊ガスの供給配管設計施工だけではなく、超純水プラントから製造装置までを繋ぐ供給配管、エアー、窒素、アルゴン等の供給配管、薬液配管、真空配管、排気配管等の設計施工も行っています。

対象企業
  • ジャパンマテリアル㈱
    特殊ガス供給配管設計施工
  • ㈱東和商工
    超純水供給配管設計施工

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特殊ガス

特殊ガス管理

半導体及び液晶関連工場において設置されている特殊ガス供給装置には、充填されたボンベを取り付け空ボンベを回収するといった作業と、安全かつ安定供給を維持するための日常点検や保守が必要になります。JMグループでは、これら全般の業務と特殊ガスの受発注管理代行業務を行っております。
また、半導体及び液晶関連の製造工程では、シラン、三フッ化窒素、トリクロロシラン、ジクロロシラン、塩素、アンモニア等の特殊ガスや液化窒素ガス等のバルクガスが多数使用されております。JMグループでは、こうした特殊ガス等の安定供給も顧客ニーズを踏まえ行っています。

特殊ガス販売

半導体、液晶関連の製造工程で使用される特殊ガス等を、顧客ニーズを踏まえ安定供給できるよう、特殊ガス販売を行っています。

対象企業
  • ジャパンマテリアル㈱
    特殊ガス管理業務 / 特殊ガス販売
  • ㈱JMテック
    特殊ガス管理業務(国内メーカー向け)
  • 茂泰利科技股份有限公司(TM-TECH)
    特殊ガス販売管理業務(海外メーカー向け)

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超純水

半導体や液晶製造に必要不可欠な超純水は、供給不足とならないように精製プラントで24時間365日止まることなく精製し続けられています。超純水の精製プラントの運転管理・技術支援・試運転調整・メンテナンス等の総合管理分野で、超純水の供給・排水・回収のトータルサービスを提供しています。

対象企業
  • ㈱PEK
    超純水プラント運転管理請負業務及びメンテナンス

薬品

半導体や液晶製造における微細加工の工程では、多数の薬品を用いています。JMグループでは、使用する薬品の確実な供給を実行するために、発注管理・入庫管理・保管時の使用期限・保管温度管理などの品質管理のトータルサービスを提供しています。

対象企業
  • ㈱クスノキケミコ
    薬品供給管理
  • ㈱JMテック
    薬品供給管理

動力・空調設備

半導体及び液晶関連工場の稼働に必要な動力を供給するボイラー、冷凍機、コンプレッサー、空調機などの設備が、トラブル無く稼働するよう24時間体制で監視・点検を含めた、総合管理を行っています。

対象企業
  • ㈱JMテック
    設備マネジメント
    動力設備管理・メンテナンス
    除害設備管理・メンテナンス

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メンテナンス/
エンジニアリングサービス

半導体及び液晶工場における製造装置及び付属機器では、定期点検や部品交換等のメンテナンスが必要です。JMグループでは、お客様工場内において製造装置の保全・メンテナンス業務を行っています。
また、付属機器の真空ポンプについてはお客様工場内にて状態を診断し、交換が必要な場合は、自社工場にてオーバーホールを行っています。

対象企業
  • ㈱JMエンジニアリングサービス
    製造装置の保守・メンテナンス
  • ジャパンマテリアル㈱
    真空ポンプのオーバーホール

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その他 技術サービス

その他 技術サービス イメージ

JMグループでは、半導体及び液晶関連工場等に対して、品質向上、コスト削減に向けたご提案として、工場内で製品を自動運搬する装置のメンテナンスや、クリーンルームの環境品質管理、半導体製造装置メンテナンス用部品の製造・販売、半導体製造装置パーツへのセラミックコーティング等を行っています。

対象企業
  • ㈱JMエンジニアリングサービス
    クリーンルーム環境品質管理
  • ALDON TECHNOLOGIES SERVICES PTE LTD
    半導体製造装置部品の販売・洗浄・メンテナンス等
  • ADCT TECHNOLOGIES PTE LTD
    半導体製造装置部品の製造・洗浄・メンテナンス等