BUSINESS

List of Gases and Precursors Handled

A

  • Ar
  • AsH3
  • Ar/Xe/Ne

B

  • BCl3
  • BF3
  • B2H6

C

  • CCl4
  • CF4
  • C2F6
  • C4F6
  • C4F8
  • CH4
  • C2H2
  • C3H6
  • C3H8
  • CHF3
  • CH3F
  • C2HF5
  • CH3OH
  • Cl2
  • CO
  • CO2

F

  • F2/Kr/Ne
  • F2/Ar/Xe/Ne

G

  • GeH4

H

  • H2
  • H2/Ne
  • HBr
  • HCl
  • HCl/H2/Ne
  • He
  • H2S
  • H2Se

K

  • Kr
  • Kr/Ne

N

  • N2
  • Ne
  • NF3
  • NH3
  • NO
  • N2O

O

  • O2

P

  • PH3

S

  • SF6
  • SiCl4
  • SiF4
  • SiH4
  • SiHCl3
  • SiH2Cl2
  • Si2H6

T

  • TEOS
  • TiCl4
  • TrisDMAS

W

  • WF6

X

  • Xe
  • Xe/Kr/Ne
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