A
- Ar
- AsH3
- Ar/Xe/Ne
B
- BCl3
- BF3
- B2H6
C
- CCl4
- CF4
- C2F6
- C4F6
- C4F8
- CH4
- C2H2
- C3H6
- C3H8
- CHF3
- CH3F
- C2HF5
- CH3OH
- Cl2
- CO
- CO2
F
- F2/Kr/Ne
- F2/Ar/Xe/Ne
G
- GeH4
H
- H2
- H2/Ne
- HBr
- HCl
- HCl/H2/Ne
- He
- H2S
- H2Se
K
- Kr
- Kr/Ne
N
- N2
- Ne
- NF3
- NH3
- NO
- N2O
O
- O2
P
- PH3
S
- SF6
- SiCl4
- SiF4
- SiH4
- SiHCl3
- SiH2Cl2
- Si2H6
T
- TEOS
- TiCl4
- TrisDMAS
W
- WF6
X
- Xe
- Xe/Kr/Ne